COSMOKE、半導体インライン分析装置の磁場発生装置を2026年に本格開発へ
COSMOKEはCOSMOKE SEMIの主要部品である磁場発生装置と光学モジュールの開発を2026年に本格化させ、生産ライン向け装置の商用化を進める。
韓国のディープテック企業COSMOKEは、半導体製造工程向けインライン非破壊磁気特性分析装置COSMOKE SEMIについて、主要部品である磁場発生装置と光学モジュールの本格開発を2026年に開始すると明らかにした。生産ライン向けモデルの商用化に向けた動きとなる。etnews.comが報じた。
COSMOKE SEMIは、MRAMや磁気センサーの製造工程で使うインライン非破壊磁気特性分析ツールとして開発中の装置だ。磁場発生装置、光学モジュール、高性能ステージ、ウェハ搬送モジュール（EFEM）、ファンフィルターユニット（FFU）、AIベースの分析・補正ソフトウェアを1つのシステムに統合する設計とされる。
同社は、生産ラインでの運用に向けて装置機能を高めるため、半導体インライン装置の専門企業と協業している。研究用の分析ツールを、生産現場向けの高速・高信頼性のインライン分析ソリューションへと拡張する計画だ。
研究用モデルから量産向けへ
COSMOKEは2023年、CEOのJang Beomjin氏が創業したディープテックスタートアップで、同氏はHanyang University ERICAでロボティクス分野の助教も務めている。研究用モデルCOSMOKE RESEARCHはすでに顧客企業による検証を受けている。
従来の半導体計測は、薄膜の膜厚や表面欠陥の分析が中心だった。
よくある質問
COSMOKE SEMIの開発スケジュールは？
磁場発生装置と光学モジュールの本格開発が2026年に始まる予定で、生産ライン向けのインライン分析ソリューションへの拡張を計画している。
COSMOKE SEMIは何を分析する装置？
MRAMや磁気センサーの製造工程で磁気特性を非破壊・インラインで分析する装置で、光学モジュールやAIベースの分析・補正ソフトウェアなどを統合する。