アキュレーザー、中国大手ガラス基板メーカーとTGV装置の数百万ドル契約を締結

韓国のレーザー装置メーカー、アキュレーザーは2026年10月15日、中国の大手ガラス基板メーカーとTGV（スルーグラスビア）装置を供給する数百万ドル規模の契約を締結したと発表した。bloter.netが報じた。

この装置はアキュレーザー独自のレーザー微細加工技術を応用したもので、欧州企業が用いるレーザー改質方式ではなく、ガラスを直接穿孔する方式を採用している。直径0.5〜1.5マイクロメートルの超微細な貫通穴を形成でき、関連特許も出願済みだという。

装置は、顧客が2027年から開始する大規模な量産投資にも適用される予定。アキュレーザーは年内に、化学エッチング装置や貫通穴検査装置を加えてTGV装置のラインナップを拡充する計画を示している。

同社は中国に加え、欧州と米国の複数企業とも装置供給に向けた協議を進めている。

TGVとは

TGVはガラス基板に微細な穴を開け、基板の表裏をつなぐ電極を形成して電気信号を接続する技術。ガラス基板は、微細な回路形成と電力損失の低減を可能にする次世代半導体パッケージング材料として注目を集めている。