Russie : un outil de lithographie 130 nm franchit une nouvelle étape
Le centre ZNTC a achevé la troisième phase de R&D de son premier outil de lithographie 130 nm pour wafers de 200 mm, désormais en tests internes.
Le Zelenograd Nanotechnology Center (ZNTC) a achevé la troisième phase de R&D de son premier outil de lithographie capable de traiter des wafers de 200 mm avec une technologie de 130 nm, selon tomshardware.com. L'équipement est actuellement soumis à des tests internes d'ingénierie et de réception.
D'après des documents consultés par CNews, le système de lithographie a été développé par la société biélorusse Planar, qui a également fabriqué les ensembles mécaniques et les composants. Les lasers de l'unité ont été développés par Lassard.
Le ministère russe de l'Industrie et du Commerce a alloué environ 70 millions de dollars à ce programme de développement. Le coût d'un stepper du ZNTC est estimé à 6,7 millions de dollars, auquel s'ajoute celui de sa source laser, autour de 600 000 dollars, pour un total d'environ 7,3 millions de dollars.
Un contexte industriel ancien
Pour situer les choses, Intel et AMD avaient adopté des procédés de fabrication en 130 nm respectivement en 2001 et 2002. Le stepper PAS 5500/150 d'ASML affichait un prix catalogue de 3,1 millions de dollars lors de son lancement au premier trimestre 2001, soit l'équivalent d'environ 5,8 millions de dollars en dollars de 2026. Les fondeurs russes ont historiquement développé deux nœuds de classe 130 nm reposant sur des équipements de lithographie d'ASML, et le prototype du ZNTC a été livré cinq mois plus tard que prévu.
En bref
Quelle est la capacité de traitement de l'outil de lithographie du ZNTC ?
Il peut traiter des wafers de 200 mm avec une technologie de 130 nm.
Combien coûte un stepper du ZNTC ?
Le stepper seul est estimé à 6,7 millions de dollars, et sa source laser à environ 600 000 dollars, pour un total d'environ 7,3 millions de dollars.
Qui a financé le programme de développement ?
Le ministère russe de l'Industrie et du Commerce a alloué environ 70 millions de dollars au programme.