ロシアZNTC、130nm対応リソグラフィ装置の第3段階を完了

Zelenograd Nanotechnology Center（ZNTC）は、200mmウェハを130nmプロセス技術で処理できる初のリソグラフィ装置について、研究開発の第3段階を完了した。装置は現在、社内エンジニアリング試験および受入試験を受けている。

この装置のリソグラフィシステムはベラルーシのPlanarが開発し、機械アセンブリと部品を製造した。CNewsが確認した文書によると、レーザーはLassardが開発した。

ロシア産業貿易省はこの開発プログラムに約7000万ドルを配分した。ZNTCのステッパー1台の推定コストは670万ドルで、レーザー光源は約60万ドル、合計は約730万ドルとなる。

背景として、IntelとAMDはそれぞれ2001年と2002年に130nm製造プロセスを採用した。ASMLのPAS 5500/150ステッパーは2001年第1四半期の投入時の定価が310万ドルだった。ロシアのチップメーカーは歴史的に、ASMLのリソグラフィ装置に依存する130nmクラスの2つのノードを開発してきた。