러시아 ZNTC, 130nm 노광 장비 3단계 R&D 완료
러시아 Zelenograd Nanotechnology Center가 200mm 웨이퍼용 130nm 노광 장비의 3단계 R&D를 마쳤다. 현재 내부 엔지니어링 및 인수 시험을 진행 중이다.
러시아 Zelenograd Nanotechnology Center(ZNTC)가 200mm 웨이퍼를 처리할 수 있는 130nm 공정 노광 장비의 3단계 연구개발(R&D)을 완료했다. 이 장비는 현재 내부 엔지니어링 및 인수 시험을 받고 있다.
벨라루스에 본사를 둔 Planar가 이 노광 시스템을 개발하고 기계 조립품과 부품을 제조한 것으로, CNews가 입수한 문서에서 확인됐다. 이 장비에 들어가는 레이저는 Lassard가 개발했다.
러시아 산업통상부는 이 개발 프로그램에 약 7000만 달러를 배정했다.
ZNTC 스테퍼 1대의 가격은 약 670만 달러, 레이저 광원은 약 60만 달러로 추정되어 총 약 730만 달러에 이른다.
한눈에 보기
ZNTC 노광 장비는 어떤 공정을 지원하나?
200mm 웨이퍼를 처리하는 130nm 공정 기술을 지원한다.
이 장비의 개발 비용은 얼마인가?
러시아 산업통상부가 개발 프로그램에 약 7000만 달러를 배정했으며, 스테퍼 1대는 약 670만 달러, 레이저 광원은 약 60만 달러로 추정된다.