中国新興企業がEUV光源プロトタイプを公開、出力15W超
上海の工業博覧会で、中国のスタートアップが国産部品比率90%のEUV光源プロトタイプを展示した。通電はされなかった。
中国のスタートアップ、Langdao Silexは、上海で開催された第26回中国国際工業博覧会で、出力15W超のEUV光源プロトタイプを展示した。会場では通電されなかった。この展示は、EUVリソグラフィ装置の主要サプライヤーであるASMLの独占体制に対する中国国内の代替技術の進展を示すものだ。tomshardware.comが報じた。
展示された「FlintNano LPP-OXXO」は、レーザー生成プラズマ（LPP）方式を採用している。1,000Wの駆動レーザーを備え、動作周波数は1kHzから20kHz、変換効率は2%超だ。EUV出力は15W超で、輝度は100 W/(mm²·sr)に達する。エタンデュは1×10⁻³ mm²·sr、生成されるプラズマの直径は60μmである。
同システムは、プラズマ安定性3% RMS、EUV出力安定性5%で、100時間以上の連続運転が可能だとされる。Langdao Silexはまた、高出力EUV光源「FlintMicro-LPP」を開発中で、原理実証の検証を完了したとしている。
過去のEUV光源開発の歩み
EUV光源の出力をめぐる開発競争は長い歴史を持つ。2007年、ASMLの初期EUV実証装置は、中間フォーカスで約10W（DPP方式）を使用していた。2012年には、初期のNXE:3100システムに搭載されたCymerのLPP光源が、ウェハ露光中に最大11Wを達成した。2013年にはCymerが長期運転で約40Wを実証し、日本のGigaphotonは最初のプロトタイプで25Wを目標に掲げ、2014年初頭に43Wを実証した。2014年後半には、Gigaphotonが10分間のテストで118Wを達成している。
初期のNXE:3400シリーズには、中間フォーカスで125Wから150Wの光源が搭載されたが、大量生産には程遠かった。ASMLは2018年から2019年にかけて、商用生産向けに250W級のEUV光源を投入した。Langdao Silexは2024年、清華大学のガス放電プラズマ研究室の出身者によって設立されている。
よくある質問
Langdao SilexのEUV光源プロトタイプはどこで展示されましたか？
上海で開催された第26回中国国際工業博覧会で展示されました。会場では通電されませんでした。
FlintNano LPP-OXXOの主な仕様は？
1,000Wの駆動レーザー、1kHzから20kHzの動作周波数、変換効率2%超、EUV出力15W超、輝度100 W/(mm²·sr)です。
Langdao Silexは他にどのようなEUV光源を開発していますか？
高出力EUV光源「FlintMicro-LPP」を開発中で、原理実証の検証を完了しています。