Langdao Silex, 15W급 EUV 광원 프로토타입 공개

중국 스타트업 Langdao Silex가 15W 이상의 출력을 내는 EUV(극자외선) 광원 프로토타입을 공개했다. tomshardware.com에 따르면 이 프로토타입은 2026년 10월 16일 상하이에서 열린 제26회 중국국제산업박람회에서 전시됐으며, 전원을 켜지 않은 상태로 선보였다. 부품의 90%가 중국산이며 가동 시간도 양호한 수준이라고 회사 측은 밝혔다.

전시된 FlintNano LPP-OXXO 시스템은 레이저 생성 플라스마(LPP) 기술을 사용한다. 1,000W 구동 레이저를 갖추고 있으며 작동 주파수는 1kHz에서 20kHz, 변환 효율은 2%를 넘는다. EUV 출력은 15W 이상이고 밝기는 100 W/(mm²·sr)에 달한다. 광원의 에텐듀는 1 × 10⁻³ mm²·sr이며 플라스마 직경은 60μm다.

회사 측에 따르면 FlintNano LPP-OXXO는 100시간 이상 연속 작동이 가능하며 플라스마 안정성은 3% RMS, EUV 출력 안정성은 5%다. Langdao Silex는 고출력 EUV 광원인 FlintMicro-LPP도 개발 중이며, 이 시스템은 원리 검증(proof-of-principle)을 완료했다.

업계 배경

Langdao Silex는 2024년 칭화대학 기체방전플라스마연구소 출신들이 설립한 회사다. EUV 노광장비 시장은 ASML이 주도하고 있으며, 초기 EUV 광원의 출력은 상용 양산에 크게 못 미치는 수준이었다. 2007년 ASML의 초기 EUV 시연 장비는 중간 초점 기준 약 10W를 냈고, 2012년 Cymer의 LPP 광원은 웨이퍼 노광 시 최대 11W를 기록했다. 2013년 Cymer는 장시간 운전에서 약 40W를 시연했고, 2018~2019년 ASML은 상용 생산용 250W급 EUV 광원을 도입했다.