Langdao Silex 展示 EUV 光源原型，功率超 15W

据 tomshardware.com 报道，Langdao Silex 于 2026 年 10 月 16 日在上海举行的第 26 届中国国际工业博览会上展示了一款极紫外（EUV）光源原型，其输出功率超过 15W，且 90% 的组件为国产。此次展示的原型机并未通电运行。

该原型名为 FlintNano LPP-OXXO，采用激光等离子体（LPP）技术。其驱动激光功率为 1,000W，工作频率在 1 kHz 至 20 kHz 之间，转换效率超过 2%。其 EUV 输出超过 15W，亮度达到 100 W/(mm²·sr)。

其光源的集光率为 1 × 10⁻³ mm²·sr，产生的等离子体直径为 60 μm。据该公司称，该设备可连续运行超过 100 小时，等离子体稳定性为 3% RMS，EUV 输出功率稳定性为 5%。

背景

Langdao Silex 由清华大学气体放电等离子体实验室的校友于 2024 年创立。该公司还在开发 FlintMicro-LPP 高功率 EUV 光源，目前已完成原理验证。EUV 光刻设备制造商 ASML 曾在 2007 年展示过功率约 10W 的早期 EUV 设备。2012 年，Cymer 的 LPP 光源在早期 NXE:3100 系统中晶圆曝光时功率可达 11W；2013 年，该公司在长时间运行中实现了约 40W 的功率。日本 Gigaphoton 在 2013 年首款原型机的目标功率为 25W，并于 2014 年初演示了 43W，随后在 2014 年底的十分钟测试中达到 118W。早期的 NXE:3400 系列设备配备的中间焦点光源功率为 125W–150W，远不足以满足大规模量产需求。ASML 于 2018 至 2019 年间推出了用于商业生产的 250W 级 EUV 光源。